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離子束源的結(jié)構(gòu)形式為陽極層離子束,它是一種帶有閉環(huán)電子偏移離子發(fā)射通道冷陰極形式的離子源。該離子源由作為冷陰極電子發(fā)射源的導(dǎo)磁殼體,離子發(fā)射通道和位于通道之下對(duì)稱分布于殼體之中的陽極構(gòu)成。連續(xù)的通道構(gòu)成磁場(chǎng)間隙并提供偏移電子閉合回旋和加速。 星弧可為客戶提供應(yīng)用于各行業(yè)的各種離子束模塊,同時(shí)配備星弧或其它品牌的相應(yīng)電源。離子束源的結(jié)構(gòu)形式為 |
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